Техническое описание
Настольный прибор для комплексного контроля и измерения механических свойств микро- и наноструктурированных материалов, тонких фольг и пленок, а также покрытий и упрочняющих слоев толщиной от 0,01 до 100 мкм. Реализует методы наноиндентирования и царапания (скретч-тест).
Полностью автоматизированное выполнение измерений, моторизованный предметный столик для перемещения образца, оптический микроскоп высокого разрешения с цифровой камерой позволяют максимально упростить технологический контроль и исследования в нанометровом диапазоне.
Особенности:
· метод измерительного индентирования позволяет определять твердость по невосстановленному отпечатку путем измерения зависимости нагрузки от внедрения и обладает следующими преимуществами:
- не требует измерения размеров отпечатка оптическим микроскопом;
- позволяет измерять модуль упругости, коэффициент упругого восстановления и другие механические параметры;
· полнофункциональный метод царапания (скретч-тест) и метод измерительного индентирования реализованы на одной измерительной головке, что дает возможность проведения комплексного контроля параметров пленок, покрытий и упрочняющих слоев;
· цифровой оптический микроскоп высокого разрешения с переменным увеличением позволяет выполнять оперативный контроля полученных отпечатков/царапин в выбранной области измерений;
· наличие моторизованной системы перемещения образца (предметного столика) дает возможность проведения серии измерений в автоматическом режиме на заданном участке поверхности исследуемого образца, с целью получения большой статистической выборки результатов;
· прибор не требует применения специальных мер акустической и виброзащиты.
Основные технические характеристики прибора
|
Диапазон прикладываемой нормальной (вертикальной) нагрузки
|
До 1000 мН (~100 г)
|
|
Разрешение по нагрузке
|
10 мкН
|
|
Диапазон измерения твердости(HIT)
|
1000 ... 60 000 Н/мм2 (~100 ... 6000 HV)
|
|
Диапазон измерения модуля упругости
|
10 ... 1000 ГПа
|
|
Диапазон перемещения индентора (макс.)
|
100 мкм
|
|
Разрешение перемещения индентора
|
1 нм
|
|
Параметры царапания (скретч-тест)
|
|
|
Максимальная латеральная (горизонтальная) сила
|
100 мН
|
|
Разрешение латеральной силы
|
10мкН
|
|
Максимальная длина царапины
|
50 мм
|
|
Система перемещения
|
|
|
Размер исследуемых образцов (макс.)
|
100х100х30 мм
|
|
Диапазон перемещения предметного столика
|
50х50 мм
|
|
Шаг перемещения предметного столика
|
100 нм/30 нм
|
|
Цифровой оптический микроскоп х7 Zoom
|
|
|
Поле зрения
|
1.2X1.6 ÷ ~0.18X0.24
|
|
Оптическое разрешение
|
5 мкм
|
|
Цифровая камера
|
5МПиксел
|
|
Размеры измерительной установки
|
|
|
Габариты (ШхВхГ)
|
330х354х250
|